石英亞沸高純水蒸餾器清洗步驟及注意事項如下:

  1．切斷電源，關上自來水。

  2．加入濃鹽酸100ml到橫式燒瓶內，與瓶內的水釋鹽酸，如積垢較多鹽酸可多加一些，數分鐘后由水位器放出，后用自來水沖洗數次，為了清除微量鹽酸，可將燒瓶前后搖動，使不易清洗的死角沖洗為上。

  3．再次蒸餾時，開始10分鐘內所蒸餾的水，舍去不用。

  4.如長期使用結垢嚴重或在加化學試劑提純（如高錳酸鉀等）產生污染，可用20%HF浸泡處理，但時間不宜過長，視蒸餾器光滑為準，浸泡后以去離子水沖凈，平衡純化。

  5.較長時間不用蒸餾器，所有出口都應用濾紙包好封口。